T/CEMIA 036-2023 半导体显示用高碱浓度负胶显影液

范围本文件规定了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的缩略语、技术要求、检验方法、检验规则、标志及包装、运输、贮存和安全事项。
本文件适用于由氢氧化钾、表面活性剂和水组成，其中氢氧化钾的质量百分比大于8％的半导体显示用高碱浓度负胶显影液。此半导体显示用高碱浓度负胶显影液主要用于半导体制程中负性光刻胶的显影，及薄膜品体管液品显示器(TFT-LCD)或有机发光二极管显示器(OLED)彩膜工艺光刻胶的显影。

术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。

缩略语
下列缩略语适用于本文件。
HDPE：High Density Polyethylene，高密度聚乙烯。

技术要求
外观
透明澄清液体。
色度
半导体显示用高碱浓度负胶显影液的色度不大于50Hazen单位(铂-钴色号)。
主要成分
半导体显示用高碱浓度负胶显影液的主要化学成分含量应符合表1的规定。


理化性能
半导体显示用高碱浓度负胶显影液的理化性能，应符合表2的要求。


检验方法
氢氧化钾含量
按 GB/T 9725 的规定进行测试。
GB/T 9725-2007 化学试剂 电位滴定法通则

密度
按 GB/T 611-2021 的规定进行测试。
GB/T 611-2021 化学试剂 密度测定通用方法


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