SJ/T 11508-2015 集成电路用正胶显影液

范围
本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输。
本标准适用于集成电路用正胶显影液，以下简称正胶显影液。
本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

术语
超纯硝酸 ultrapure nitric acid
金属离子含量不大于1μg/L的硝酸。

性状和技术要求
性状
本试剂为无色透明有剌激性氨味的碱性液体，为四甲基氢氧化铵的水溶液，四甲基氢氧化铵含量允许相对偏差为±1.0%。

技术要求
正胶显影液技术要求应符合表1的规定:






试验方法
显影液含量测定
试剂
盐酸标准滴定溶液: c(HCl)=0.1mol/L。
仪器和设备
自动电位滴定仪: 配酸碱滴定电极。
测定步骤
称取适量样品于滴定杯中，精确至0.0001g，加入40mL纯水，按照自动电位滴定仪操作规程测定显影液含量。
两次平行测定结果相对偏差不大于0.5%，取其算术平均值为测定结果。


京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S
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