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VICI气体纯化器原理

2026年04月03日 10:57:05      来源:郑州云湛科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:1

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VICI 气体纯化器是一种用于提高气体纯度的设备,可广泛应用于分析仪器、半导体制造等领域。以下是其详细介绍:
  • 工作原理:VICI 气体纯化器采用活性金属为化学吸附剂,当原料气通过活性金属纯化床时,气体中的氧气、水、氮气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等杂质气体与活性金属发生化学吸附反应,从而将杂质去除,达到纯化气体的目的。

  • 产品特点

    • 净化效果优异:能够将气体的纯度从 99.995% 提升到 99.9999% 色谱纯以上的等级,可有效去除气体中的水、碳氢化合物、氧气、二氧化碳、一氧化碳等多种杂质。

    • 结构设计合理:采用优化的多层次结构,气体每经过一个层次的净化,污染物含量都会相应降低,能尽可能地减少接头数量,降低气体泄漏的可能性。

    • 多种类型可选:有非加热型纯化器(Mat/Sen)和加热型纯化器(如 HP2、NP2 等)。非加热型通常适用于通用型色谱仪等场景,加热型 HP2 主要用于氦气和其他惰性气体的纯化,NP2 则专门用于氮气的纯化。

    • 操作简便安全:纯化器的操作相对简单,无需复杂的操作流程和专业的技术培训。采用可加热活化的吸附性合金材质作为纯化基质,由稳定的合金焊接装配件组成,一些加热型纯化器还配备有自控装置,确保纯化过程的稳定进行。

  • 应用领域

    • 分析仪器领域:可应用于超微量水、氧分析仪,气相色谱仪(GC)、常压离子质谱仪(APIMS)等各类气体分析仪器纯化载气或零点气,提高仪器的检测精度和稳定性。

    • 半导体领域:可为众多半导体工艺设备配套提供超高纯的工艺气体,满足半导体制造对气体纯度的苛刻要求。

    • 其他领域:可用于超高纯度气体管道安装施工中纯化轨道焊机使用的氩气和验收时使用的吹扫气体等



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