国仪量子场发射扫描电子显微镜SEM5000Pro

产品介绍

SEM5000Pro是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。

电子枪类型           高亮度肖特基场发射电子枪

加速电压             20 V ~ 30 kV

分辨率              0.8 nm @ 15 kV  1.2 nm @ 1 kV

样品台              五轴全自动样品台

放大倍率             1 ~ 2,500,000 x

场发射扫描电镜产品特点

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

高压隧道技术 (SuperTunnel), 在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换