Rion液体粒子计数器KS-42BF是日本理音(Rion)公司生产的一款高精度液体光学颗粒度仪。它采用光散射原理,能够高效、精准地检测液体中微小颗粒的大小和数量。其宽广的测试范围(0.2μm~2.0μm)和极小的样品取样量,使其在电子级化学品、超纯水、清洗用化学剂等领域具有广泛应用。
一、应用领域
1.半导体制造:检测超纯水和清洗用化学剂中的颗粒,确保产品质量。监控化学机械抛光(CMP)过程中的研磨液颗粒大小。
2.制药行业:检测药液中的微小颗粒,保障药品安全性和有效性。
3.电子级化学品生产:监控SOG(Spin-On-Glass)和光阻材料等专用化学品中的颗粒。
4.平板显示器制造:确保玻璃基板清洗过程中的颗粒控制,提高产品良率。
1.光散射原理:当粒径大小小于光的波长时,光散射的能量比光反射和光折射强得多,这起着决定性的作用。散射光的强度对于粒径的大小,粒子与介质的折射率和光波长等等有着恒定的关系,因此可以通过测试散射光的强度来决定粒径大小。
2.光散射法:光照射到从进口端进入的样品时粒子也从光线中通过,发生光散射。光检知器把侦测到的散射光转化成电信号。电信号的强度代表着粒子大小,侦测到散射光的频率则代表着颗粒数量。如果样品是液体,毛细管用人造石英或蓝宝石制成。
三、Rion液体粒子计数器KS-42BF核心特点
1.高精度检测:
可侦测到最小粒径0.2μm的粒子。
粒径范围(5通道):0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.0μm。
用户可通过KE-40B1控制器自行设定粒径范围(0.2μm~2.0μm),并可扩充至10个通道。
2.耐腐蚀性强:KS-42BF采用蓝宝石材质的毛细管,能够耐受Hydrofluoric Acid等强腐蚀性液体,适用于多种化学品的检测。
3.泄漏检测与报警:内置综合泄漏传感器,一旦检测到液体泄漏,会立即输出报警信号,确保设备安全。
4.高效采样与低误差:流量为10mL/min,最大粒子数浓度可达1200颗/L,误差值低于5%。
5.紧凑设计与便捷操作:尺寸约为125mm(高)×240mm(宽)×151mm(深),重量约3.2kg,便于携带和安装。
