2026年03月15日 08:40:04 来源：郑州科探仪器设备有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量：36
真空度显示：显示腔体内部的真空度数值
运行程序段：分为3个步骤，绿色表示运行状态
①真空泵启动②射频电源打开③放气
进气流量显示：通过调节A、B流量调节阀调节气体进入腔体的大小，在两个图标显示，上部显示为A流量，下部显示为B流量
时间：显示设备清洗时间
功率:显示当前设备清洗是清洗功率
设备温度：显示当前射频电源设备温度
放气状态：显示当前放气阀开启或关闭状态
清洗时间：点击可设置设备运行清洗时间
清洗功率：点击可设置设备运行清洗功率
开始运行：点击可切换设备开始运行或者停止运行
参数设置：非专业人士请勿调节，如有需要请联系厂家人员
射频电源开关：按下产品前面板左边的电源按钮 此时产品通电启动 液晶显示屏点亮， 显示启动界面 2 秒，然后进入相应工作状态显示界面。在按一下则关闭射频电源。
功率调节旋钮：射频功率调节，通过旋转前面板上的功率设置旋钮来增加或减小功率水平（顺时针 旋转为增加功率，逆时针旋转为减小功率）。
射频输出的开启和关闭：按下前面板上的射频输出 开【蓝色按钮】 打开射频输出，同时定时器开始倒计时； 按下射频输出 关【红色按钮】 关闭射频输出。
调节功率设置旋钮：显示内容“Wf"前的数值会发生相应的变化，此 时的数值为功率设定值；当按下射频输出 开【蓝色按钮】开启射频时，“RF OFF"将变成“Wr"，Wf 前的数值也会从 0 上升，当然 Wr 前的数值也会根据负载情况发生相应的变化,如果射频电源的后端负载为 50 欧时，Wr 前的数值将为 0，即此时射频输出无反射功率；否则，Wr 前数值将根据负载情况显示相应的反射功率值。
手动匹配器：通过调节前面板上的【MATCH】控制区的【TUNE】和【LOAD】旋钮实现匹配器的手 动匹配，反射功率减低到 0W。
【MATCH】控制 【最大反射】指示 【手动匹配】指示
手动调节【TUNE】和【LOAD】旋钮 调节【TUNE】旋钮，如果 Wf 数值增加，证明调节的百分比方向正确，否则往相反的方向调节；到 Wf 数值到达设置值，通过微调两个旋钮，实现 Wr 数值减低； b．调节【LOAD】旋钮的方法同理。（通过两个旋钮调节观察Wf值根据旋钮调节变大 Wr值根据旋钮调节变小）
2、软件语言选择
按下前面板上的【MENU】键进入主菜单中，通过前面板上的【UP】或【DOWN】键
选中主菜单中的第 1 项“Lang./语言"并按下【MENU】键确认，进入子菜单选中“English"
或“中文"并按【MENU】键确认即可切换相应的语言
