经典实验-薄膜/极片-溅射仪镀膜-机械泵回油检测报告

实验名称: 溅射仪镀膜-机械泵回油检测报告

实验目的：实验室分别以机械泵、机械泵加冷阱、爱德华分子泵对溅射腔体进行抽真空并溅射金膜，并且每组做两个样品进行对比，检测三种情况下金膜质量。（由客户反馈科晶实验室溅射仪做扫描电镜镀金效果差，实验室分别准备了两组对比试验与客户镀金样品进行对比，并参考对比结果进行了两组探究试验，详细内容及结论请参考以下：）

实验设备：磁控溅射仪VTC-16-SM、机械泵TRP-12、氩气、金靶、冰块及冷阱、爱德华分子泵。

对比案例①：

对比结论：客户案例形貌清晰，沟壑明显，能很清楚观察到样品腐蚀或抛光的表明形貌；科晶实验室案例中腐蚀与抛光形貌都比较模糊，难以分辨。

对比案例②：

对比结论：客户所做案例球形态清晰，颗粒与颗粒间分界清晰，实验室所做三组案例，虽然冷阱（第2组）及干泵（第3组）的效果略比油泵（第1组）效果改善，但是对比客户的案例仍有很大差距，所以实验室做了以下对比：三种工况下镀金金膜质量（溅射仪使用机械泵TRP-12、溅射仪使用机械泵TRP-12加冷阱、溅射仪使用爱德华分子泵）：

探究案例①：（科晶实验室案例）

案例①总结：三组6个样品，从每个样品上杂质的总数量来看，效果：干泵（第3组）效果>油泵+冷阱（第2组）>油泵（第1组），其中第三组单位面积污点数量最少，膜的平整（三组情况金膜颜色不同，为不同滤镜下观察，表面形貌表征的金膜颜色与金膜质量无关）

探究案例②：（实验室案例）

案例②总结：从三组6个样品中看出，干泵（第3组）效果>油泵+冷阱（第2组）>油泵（第1组），其中第三组单位面积污点数量最少，由此看出冷阱对镀膜的效果改善比较的明显，干泵镀膜质量好。

实验总结：结合案例①结论、案例②结论综合判定，冷阱、干泵方案均可提升镀膜质量，且干泵提升膜质量效果明显。