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聚焦智能控制、测量与信号处理 IEEE-ICMSP 2022在杭州开幕
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2026年03月09日 09:35:33 来源:沈阳麦科诺科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:2
等离子蚀刻是指通过将加速粒子轰击到衬底表面来从衬底去除材料。
蚀刻于半导体、显示器和 MEMS 制造中的集成电路制造。
蚀刻分为两种类型——各向同性和各向异性刻蚀。
然而,随着电路每年变得越来越小,在大多数情况下各向异性蚀刻是。
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