导轨的一个重要的精度指标就是其实际运动轨迹与给定方向的偏差，影响这些的因素大致分为几何精度和导轨的结构类型等。

具有低速运动的平稳性低速运动的平稳性，是指导轨在低速运动或微量移动时不发生爬行等不连续运动的现象。它与导轨的结构、导轨副材料匹配、润滑状况、润滑剂性质及导轨运动传动系统的刚度等因素有关。

刚度大导轨受力后的变形将影响部件之间的相对位置和导向精度。刚度对高精度机械和仪器尤为重要。

抗振性好杭振性主要是指抗受迫振动的能力和抗自激振动的能力。对于闭环控制系统来说，不仅要求导轨对启动、制动的跟踪灵敏度高，还要求它要有适当的粘滞阻尼特性，以防止在启动、制动过程中发生不稳定现象。

发热小在高速运动时，要求导轨的发热小。
长期保持精度导轨精度能否长期保持，主要取决于导轨的耐磨性和导轨材料的尺寸稳定性。耐磨性与导轨副的材料匹配情况、受力情况、加工精度、润滑方式及防护装置的性能等因素有关，导轨及其支承件的剩余应力等也会影响导轨的精度保持性。制作导轨时常采用工艺性能好、耐磨性好、热膨胀系数低、抗振动衰减能力强的材料，如优质耐磨铸铁、花岗岩和人造花岗岩等，其中花岗岩比铸铁更能长期保持稳定，而且热膨胀系数低，是制造导轨的理想材料，但它有吸湿性，吸湿后会产生微量变形而影响精度。人造花岗岩是用树脂将花岗岩颗粒粘结而成的，其抗振动衰减能力比花岗岩还高，且易于成型，热导率低。