半导体氮气柜适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品。
1、4英寸超高亮数码管显示，可视距离30米，可加装氮气节约控制系统，可加装报警系统。
2、无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机，镀铝锌板材质，铝合金叶轮，风速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB。
3、双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。
4、半导体氮气柜采用模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换，保养及维修简便，大大提升维护效率。
5、配备氮气节约装置，系统会根据湿度设定值，自动切断和打开氮气供应，相比市场其他直充氮气机型可节约70%氮气消耗量。大程度降低使用成本。
6、半导体氮气柜采用多点供气系统。氮气通过蜂窝孔冲入工作室，氮气分布更加均匀。避免了普通单点供气而产生的死点死角现象。
7、低能源绿色环保设计，不返潮、不发热、不滴水、无任何噪音，产品通过ROSH等相关认证。
