痕量气体分析仪是用于检测气体混合物中极低浓度（通常为ppb至ppt级别）特定组分的精密分析仪器，在环境监测、工业过程控制、科研等领域具有重要应用。
一、基本概念与测量范围
痕量气体指气体混合物中浓度极低的组分，通常指：
ppb级：十亿分之一（1×10⁻⁹）浓度
ppt级：万亿分之一（1×10⁻¹²）浓度
痕量气体分析仪正是针对这类超低浓度气体的定量检测而设计，其检测限可达亚ppb甚至ppt级别，远高于常规气体检测仪（通常为ppm级）。
二、痕量气体分析仪主要技术原理与类型
根据检测原理不同，痕量气体分析仪主要分为以下几类：
1.可调谐二极管激光吸收光谱（TDLAS）：利用气体分子在特定波长下的特征吸收，通过激光扫描获得吸收光谱
2.气相色谱-质谱联用（GC-MS）：色谱分离+质谱定性定量
3.傅里叶变换红外光谱（FTIR）：测量气体分子对红外光的吸收光谱
4.化学发光法（CLD）：基于化学反应产生的光辐射强度与浓度成正比
5.光离子化检测器（PID）：利用紫外光使气体分子电离，测量离子电流
6.质子转移反应质谱（PTR-MS）：化学电离+质谱分析
三、痕量气体分析仪应用场景
1.环境空气质量监测
大气污染监测：O₃、NOx、SO₂、VOCs等痕量污染物的连续监测
温室气体监测：CO₂、CH₄、N₂O等温室气体浓度测量
室内空气质量：甲醛、苯系物、TVOC等有害气体检测
2.工业过程控制
半导体制造：洁净室中痕量污染物（如NH₃、HF）的监控
化工生产：反应器尾气中副产物或泄漏气体的检测
天然气/石油：管道泄漏检测、天然气组分分析
3.科研与实验室
大气化学研究：自由基、反应中间体等瞬态物种测量
生物医学：呼出气中疾病标志物（如NO、CO）检测
材料研究：材料释放的痕量气体分析
四、痕量气体分析仪使用注意事项
1.采样系统要求
管路材质：需使用惰性材料（如不锈钢、PFA、硅烷化玻璃）避免吸附。
温度控制：高温伴热（120-180℃）防止气体冷凝损失。
过滤系统：前置过滤器去除颗粒物，避免污染仪器。
2.校准与维护
标准气体：需使用经认证的痕量级标准气体（如ppb级）定期校准。
零点校准：使用高纯氮气或零气定期检查零点。
系统检漏：定期检查气路密封性，避免空气渗入。
3.环境干扰
温湿度影响：高湿度可能导致气体溶解或反应，需除湿处理。
压力波动：需保持采样压力稳定，或进行压力补偿。
共存气体干扰：需确认仪器对目标气体的选择性。
