热式气体质量流量控制器是一种基于热传导原理，用于精确测量和控制气体质量流量的仪器。它通过检测气体流经加热元件时的热量损失，直接计算气体的质量流量，无需额外的温度和压力补偿，具有高精度、快速响应和宽量程比等显著优势。
工作原理
热式MFC的核心部件包括传感器、控制阀和微处理器。传感器通常由加热元件（如铂丝）和温度传感器组成。当气体流过时，加热元件的热量被气体带走，导致其温度下降。气体流速越大，热量损失越多，温度下降越显著。通过测量加热元件的功率变化或温差，即可计算出气体的质量流量。控制阀根据微处理器设定的目标流量值，实时调节阀门开度，形成闭环控制系统，确保流量稳定在预设值。
性能特点
高精度：通常精度可达±(1-1.5)%满量程或±(0.5-1)%读数，重复性佳，适用于对流量控制要求严苛的场景。
宽量程比：量程比可达50:1至200:1，覆盖从极低流速到超高流速的测量需求。
快速响应：响应时间短，能够实时监测和控制流量变化，满足动态工艺要求。
耐腐蚀性强：传感器和控制阀通常采用耐腐蚀材料制成，适应恶劣环境和多种气体介质。
低压损：传感器结构优化，压力损失小，对流体系统影响微弱。
