在实际使用中，会慢慢发现等离子清洗机一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起清洗机达不到清洗效果的原因，例如反应腔、电极、托板架、气体的压力等。
以下介绍了等离子清洗机关键部位保养前后的效果以及如何进行保养：
1、真空腔体保养：
等离子腔体清洁时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。
对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体导入N2和O2，用等离子体清除腔体内残余物，工作10min。
2、电极与托板架的保养：
依据附着物的量对电极、托板架进行翻新维护能保证清洗的稳定。清洗材料要求：氢氧化钠、硫酸、城市用水和蒸馏水。
注意：不要使用手磨机、砂纸或磨蚀性喷砂处理等机械方法清洁；氢氧化钠溶液会与铝发生剧烈的化学反应，应小心谨慎以确保仅在所需的时间内清除沉积物；反应中会生成具有潜在爆炸性的氢气，因此工作区域应保持良好的通风。
3、真空泵的保养
查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，发现油位接近低红线刻度，加油到红标线上下之间位置。
4、定期保养计划
等离子清洗机在使用过程中，腔体内出现的一些残留物和氧化层，在前期发展阶段，该薄层并不影响设备的运行或成品。但是经过持续的运转后，发现了清洗效果不稳定，能察觉到微小改变，所以在使用一段时间之后是需要将托板架与电极进行清洗翻新。
清洗机的保养应从以上这些方面进行，根据保养项目划分周期分为每日、每周、每月、半年、每年、2-3年。
在实际生产过程中，影响等离子清洗效果的不仅仅是工艺技术，还有设备的稳定性，比如工艺气体的微小泄露、电极托板架的烃基残留物、腔体内其他管道的氧化程度以及设备本身不同程度的故障这些都是在生产制造过程中直接对生产产生影响。因此，做好等离子清洗机维护保养非常必要。
