纳米颗粒粒径检测，必须对多个参数进行表征才能很好地了解它们的特性和行为。除了纳米颗粒粒径外，粒径分布也很相关。粒径分布可以揭示诸如溶液中存在聚集体的状况，这反过来可能表明纳米颗粒的分散性较差。
纳米颗粒粒径检测是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺寸(1-100nm)或由它们作为基本单元构成的材料。由于它的尺寸很小，会产生很多特殊的效应，比如小尺寸效应、隧道效应以及大的比表面积效应等，因此使得纳米材料表现出不同的物理化学特性，例如熔点、磁性、光学、导热、导电特性等等，因而现在纳米材料被广泛应用于医药、化工、冶金、电子、机械、轻工、建筑及环保等行业。
为了实现扫描电子显微镜（SEM）对纳米颗粒粒径检测的准确测量，研究了一种SEM放大倍数校准和光栅间距测量的方法；在SEM的不同放大倍数下对光栅纳米结构样板成像，运用软件对显微镜图像进行灰度处理并读取灰度图像的亮度值数据，通过确定顶线、基线、底线位置，有效消除成像质量及数据处理等的误差，准确确定质心横坐标，采用质心算法求取平均光栅间距，通过与光栅间距标称值比较计算校准系数和校准误差；为验证放大倍率校准结果的可靠性，对纳米颗粒粒度标准物质进行测量。实际测量的平均粒径与标准值一致，表明该校准方法准确可靠，可有效避免图像质量和人为因素对测量结果的影响，达到对纳米和亚微米颗粒粒径准确测量的目的。
