分子泵机组MPU-90i通过以下几个方面来重构超高真空实验标准：
-提供更高的极限真空度：MPU-90i的极限真空度可达到10??Pa，这种高真空度为超高真空实验提供了更纯净的环境，减少了气体分子对实验的干扰，例如在半导体制造的光刻、蚀刻等工艺中，能保障工艺的精准性，有助于提高产品质量和性能。
-精准的真空测量：该机组配备全量程真空规，真空测量范围为1×10?-1×10??Pa，且垂直安装确保测量准确。精确的真空度测量对于超高真空实验至关重要，它能让实验人员准确掌握真空状态，为实验的精确控制和数据准确性提供了保障。
-智能化控制与操作简便性：采用“IL智能化控制程序”，可防止误操作损坏分子泵，同时分子泵能自动启动、自动关闭。此外，还提供中英文操作界面，通过触摸屏可一键启动分子泵和前级泵，这使得实验操作更加简便快捷，降低了操作人员的技术门槛，也提高了实验的可重复性和效率。
-一机两用的灵活设计：前级泵可独立使用，满足粗真空下的使用场景，如在一些简单的真空预处理过程中可单独运行前级泵。也可以前级泵+分子泵联动使用，获得超高真空环境，这种灵活的设计适应了不同实验阶段和不同类型实验对真空度的多样化需求，提高了设备的利用率和性价比。
-简化安装与维护：
分子泵机组MPU-90i在出厂前已完成分子泵、前级泵、触摸屏的安装，且完成气密性检测。这大大减少了用户在安装过程中可能出现的问题，缩短了设备安装调试时间，使实验能够更快地开展。同时，简洁的结构也有利于后期的维护和保养，确保设备长期稳定运行，为超高真空实验提供可靠的硬件支持。
