氮封阀系统在新创纳电子超纯水应用

超纯水设备的氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内，水箱内氮气压力不大于80Kpa，氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成，而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成，当储罐内压力升高至设定压力时，快速泄放阀迅速开启，将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时，开启阀门，向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下，现场N2压力较高，必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。

本实用新型涉及超纯水生产技术领域，具体是一种超纯水用氮封装置。空气中含有二氧化碳、细菌、尘埃等杂质，而超纯水为纯的溶剂，对这些杂质的溶解能力很强，故一旦超纯水与空气接触，就会使其电阻率迅速下降，实践证明15MΩ·m以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ·m，3分钟以后就会下降到2MΩ·m左右，因此超纯水的储存容器需确保水体不与空气的接触。

    浙江新创纳电子科技有限公司由上海新安纳电子科技有限公司投资设立，是一家专门致力于电子级纳米磨料和抛光液技术开发、生产、销售和服务的企业。公司在我国电子级纳米磨料依赖进口的形势下，根据国家的战略部署，在中科院上海微系统与信息技术研究所与海宁市人民政府战略合作协议框架下成立。目前主要从事电子级二氧化硅纳米磨料和抛光液的技术开发、生产、销售和服务。

      新创纳公司建有的电子级磨料和抛光液生产线，拥有完整的磨料和抛光液制备、检测、抛光验证系统，是目前中国技术的电子级胶体二氧化硅、蓝宝石抛光液和硅片抛光液供应商，产品质量和技术能力得到了国内外公司的认可。经过一期和二期的建设，以及上海新安纳公司搬迁至新创纳公司相关建设，公司现在已经具备年产一万吨的电子级硅溶胶和抛光液的生产能力，公司研发和生产的电子级硅溶胶、蓝宝石抛光液、金属抛光液和硅片抛光液已成功应用与数十家电子和光电子行业的公司，成功替代了相应的进口产品。

超纯水设备氮封水箱的工作原理：

超纯水设备的氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内，水箱内氮气压力不大于80Kpa，氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成，而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成，当储罐内压力升高至设定压力时，快速泄放阀迅速开启，将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时，开启阀门，向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下，现场N2压力较高，必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。

压力可按要求分段设定，从0.5Kpa至60 Kpa以下。

微压调节阀压力调节范围内选定一设定值 如：3Kpa。

泄氮设定值的设定应远离供氮压力值，如：8Kpa。

具体压力的设定值要根据纯水系统的产水量和水箱容量大小来确定选择。

氮气 (N2)的纯度为99.999％以上。

氮封阀系统在新创纳电子超纯水应用处理超纯水与空气接触的方法：

充氮法：即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力，阻止大气与箱内水面接触。

薄膜袋法：即在在水箱内设置袋状薄膜覆盖于水面上，薄膜袋随水位升降，减少水面与空气接触面积。    

浮顶法：即以密度比水轻的轻质材料在水箱内制成整块板状浮顶浮于水面，并用轻质弹性材料（如海绵、发泡塑料等）遮盖浮顶与箱间的间隙，浮顶随水面升降。从而减少空气与水面的接触机会。

（1）当氮封阀关闭时，主阀的活塞是在一个密封室内，当储罐压力等于或大于设定的压力时，氮封阀膜片就被向上顶起，气导阀在弹簧的作用下向上移动，把气导阀上的密封圈紧紧压在阀座上，关闭了控制气的进口，同时特殊阀芯室的压力增加并接近氮气总管的压力，此压力通过内部通道，从特殊阀芯室传到主阀阀芯室。主阀的活塞就处于氮气总管压力的作用，由于主阀阀芯上、下所受气体压力平衡，所以主阀阀芯在自重和弹簧的作用下将阀门紧密关死。

（2）氮封阀打开时，当储罐压力稍微低于设定压力时，膜片因为感应压力下降而向下移动，推动气导阀打开，氮气经过孔板、气导阀的出口进入储罐，使储罐内的压力增加，同时气导阀的特殊阀芯室的压力下降，氮气通过内部通道从特殊阀芯室进入主阀阀芯室。由于主阀阀芯的活塞面积大于主阀阀座孔面积，并有弹簧的弹力和主阀的重量，所以当储罐压力稍微低于设定点时，特殊阀芯室和主阀阀芯室的压力降低很小，主阀仍然保持关闭，氮气只从气导阀进入储罐。

在上述三种方法中又以氮封水箱常见，实施简单，效果好。超纯水设备氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内，水箱内氮气压力不大于80Kpa，氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。