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无尘烤箱常见故障及解决办法

2025年12月21日 09:28:22      来源:广东宏展科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:1

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无尘烤箱即无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

一、温度匀称性差

原因:

1、功率调配不正当;

2、电热部件路劫;

3、炉子构造不正当招致全部散热过大;

4、炉子密封不L良,全部散热能过大;

5、带风机的炉子气体重复不匀称或者电力有余;

6、热电偶装置地位或者插人深浅使不得体现实正在温度;

7、电热部件散布不正当;

8、炉底温度偏偏低;

9、加热电源缺相,安Q全丝断。

处理办法:

1、从新打算改良功率配置;

2、改换路劫的电热部件;

3、改良炉子构造或者改良结冰办法;

4、审查炉子密封,消弭密封不L良要素;

5、正当安放作件,增微风机的电力;

6、正当取舍热电偶装置地位或者插人深浅;

7、调动电热部件散布;

8、增大炉底加热功率;

9、审查加热电源通路。

二、温度控制失效

原因:

1、温度量具受到干扰;

2、热电偶信号受到干扰;

3、热电偶接触不L良;

4、弥补导线短路或者路劫;

5、热电偶距电热部件太近;

6、温度控制回路发作故障;

7、热电偶遭到了侵蚀,电特点发作了变迁;

8、热电偶对于地,掩护管绝缘升高;

处理办法:

1、采取措施消弭搅扰源;

2、对于信号线增多屏障;

3、紧固热电偶接报端子;

4、审查弥补导线;

5、调动两者间的间隔;

6、培修温度控制回路;

7、改换热电偶;

8、审查热电偶绝缘状况;

三、温度显现值偏低

原因:

1、热电偶参考端温度太高;

2、热电偶栅极漏电;

3、热电偶栅极蜕变;

4、热电偶丈量地位太远;

5、弥补导线与热电偶不匹配;

6、弥补导线与热电偶极性接反;

7、弥补导线绝缘升高

处理办法:

1、审查参考端温度,应相符请求;

2、审查栅极、接报联接;

3、改换热电偶;

4、调动丈量地位;

5、改换弥补导线;

6、准确联接弥补导线;

7、改换弥补导线;

四、温度显现平衡固

原因:

1、热电偶栅极接触不L良;

2、热电偶有断续短路或者路劫;

3、热电偶有断续接地;

4、热电偶地位一直变迁;

5、弥补导线有接地、断续短路或者路劫;

6、温度显现量具故障;

处理办法:

1、从新联接热电偶;

2、审查热电偶消弭故障点或者改换;

3、消弭接地方;

4、流动好热电偶;

5、审查弥补导线,消弭故障点;

6、培修或者改换温度显现表。

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