用于纯气中杂质气体分析的气相色谱检测器主要有以下几种：
1、热传导池检测器(TCD)
该检测器的指标可以达到ppm级检测。与变温浓缩法配合可以检测到ppb级，例如高纯氢气，超纯氢的检测可以测到0.1ppb(0.1x10-9V/V)级。
2、气敏检测器
在检测高纯氮气的国家标准(GB/T8980-1996)中用此检测器可以检测到此0.1ppm杂质氢气。
3、氢火焰离子化检测器(FID)
国家标准(GB/T8984.1-3-1997)气体中一氧化碳、二氧化碳和碳烃化合物的测定是利用火焰离子化法转化后，直接测定,可检测zui小浓度0.1ppm。配合变温浓缩可测到1 ppb。
4、改性离子检测器(M-ArID)
将氩离子化检测器改性后可以检测高纯氩中的氢、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳杂质气，zui小检测浓度可到0.1ppm。
5、氦离子化检测器(HeID)
该检测器大多使用检测高纯氦气中杂质气体，直接检测可到1ppb [3，16] 。也有与切换技术配合检测其它高纯气中杂质气[15]。
6、电子捕获检测器(ECD)
该检测器可以检测高纯氮气、氩气、一氧化碳等气中的痕量氧(ppb级)。
7、另外还有氧化锆检测器、离子迁移检测器等。
