三
离子切割仪可以灵活选择多种样品台，不仅适用于高通量实验，也适合于特定制样需求实验室。对地质样品中的油页岩、煤层、矿石、土壤和沉积物等多种类型，对这些样品进行制样处理的主要操作就是获得一个无损伤的平整面。机械切割和机械磨抛很难避免处理过程中造成样品的微观组织破坏和磨料污染现象。特别是在扫描电镜高放大倍数的形貌观察下，地质样品的微观结构破坏非常明显。三离子切割仪采用离子束轰击样品表层区域进行切割，是一种无机械应力破坏和无磨料污染的表面处理方式。经过离子束制备的样品，适合于扫描电镜进行高放大倍数的形貌观察。
离子切割仪集成锯片切割、钻孔、磨抛等多功能于一体，可高效加工样品至合适的尺寸，为下一步的离子束切割或抛光做准备。用氩离子束加工样品的方式有两种：一种是离子束切割，另外一种是离子束抛光。离子束切割需要一片挡板安装在样品和离子枪之间，离子束切掉样品露出挡板的部分。通常要求样品露出挡板的高度不超过100μm，样品加工之后的形状成抛物线型。
离子束切割这种加工方式特别适合脆弱易碎样品或微观结构内软硬结合的样品，去除深度达数10微米至100微米，有效去除应力层和污染层，但其局限性是加工面积较小，标准尺寸为1mm·4mm。
离子束抛光模式不需要放置挡板，样品在加工时保持旋转和左右移动，其优点是抛光区域大，满足地质样品大范围形貌观察的需要。但做好离子束抛光的前提是样品表面适合做机械抛光，且能抛光至镜面状态。地质样品要进行能谱仪的元素分析，或电子背散射衍射的微观结构分析，也可以选择用三离子切割仪的进行离子束抛光
