内齿量仪的测量精度受到多种因素的影响，包括但不限于仪器本身的构造设计、所采用的测量技术、操作者的技能以及工作环境等。高级的专业级内齿量仪，尤其是在实验室或严格控制的环境中使用时，可以实现非常高的测量精度。以下是一些通用的精度参考值： 1、齿距累积误差
高精度型号可达到微米（μm）级别的测量，对于精密齿轮，甚至可达亚微米级别。
2、齿厚测量
精密型内齿量仪的齿厚测量误差通常小于±0.001mm（1μm），而对于超精密型号，这一数值可降至0.0005mm（0.5μm）。
3、齿廓误差
现代内齿量仪可以通过对比理论齿形和实际齿形的差异，评估齿形误差，精度同样可达微米级别。
4、齿根圆直径测量
高精度测量下，齿根圆直径的误差也可控制在微米范围内，确保齿轮配合间隙的精准调控。
需要注意的是，内齿量仪的实际测量精度还需要结合具体的使用环境和操作手法来看。例如，如果在振动较大的场合或由未经充分训练的人员操作，即使是精密的内齿量仪也可能无法发挥应有的效果。此外，长期使用而不进行适当的维护和校准，也会影响测量结果的一致性和准确性。
对于高精度测量任务，建议选用配备有高级别传感元件和技术的内齿量仪，并在专业人士指导下进行操作。同时，定期进行仪器校准，使用专用校准块验证和调整测量精度，保持仪器的最佳工作状态。在日常工作中，关注工作台的稳定性和周围环境的控制，减少外界干扰，都有助于提升测量精度和可靠性。在精密需求下，可能还需考虑到温度、湿度、气压等因素的变化对测量结果的微妙影响，采取相应的补偿措施。
