折射率吸收率消光系数测量可实现折射率吸收率消光系数测量，在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台，能够对设置好的点位进行自动测量，并进一步生成2D和3D的资料分布图。NS-30系列适用于晶圆膜厚测量或光伏电池膜厚测量等。
一、NS-30 系列 (桌面式自动膜厚仪)的特色
1、样品自动测量，平台尺寸100mm~450mm可选；
2、软件根据需求自动生成测量点位分布；
3、2D和3D测绘效果，包含厚度/折射率/反射率等信息；
4、可测量薄膜应力和表面弯曲（Stress/Bow)；
二、NS-30 自动 mapping 膜厚仪参数规格
1 取决于具体材料
2 Si/SiO2(500~1000nm)标样片
3 计算100次测量500nm SiO2标准片的1倍标准偏差，对20个有效测量日的1倍标准偏差取平均
4 计算100次测量500nm SiO2标准片的平均值，对20个有效测量日的平均值做2倍标准偏差
三、折射率测量注意事项
样品制备：样品需平整、透明，表面无划痕或污渍，否则会导致光线散射，影响角度测量4。对于非平板样品（如棱镜），需确保光学面光滑，顶角准确。
光源选择：使用单色光源（如钠光灯）可以避免色散对实验结果的影响。如果使用白光光源，折射角会因波长不同而略有差异。
仪器校准：分光计的刻度盘需要精确校准，避免因仪器误差导致数据不准确。阿贝折射仪在使用前应用标准玻璃块或蒸馏水进行校准。
环境控制：实验应在较暗的环境中进行，以减少杂散光对观察的干扰。温度会影响玻璃密度进而影响折射率，高精度测量需记录温度并修正。
数据处理：多次测量取平均值，以提高实验结果的可靠性。考虑仪器误差、人为误差和环境误差等因素，对测量结果进行不确定度评估。
