NS-20
光学纳米级测厚仪垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面，在各膜层之间产生光学干涉现象，反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层的厚度、反射率、折射率等参数。
光学纳米级测厚仪产品特色：
1、测量范围：可测量1纳米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。
2、非接触测量：可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品。
3、高精度，高稳定性：亚纳米级厚度测量精度，静态稳定性可达0.02纳米。
4、多层膜测量能力：可以测量多层复合薄膜各层的厚度。
5、智能化算法：核心IP算法，一键式测量大跨度膜厚，极大简化测量流程。
6、特色软件功能：自研PolarX分析软件，包含配方预测验证、特殊材料捏合等功能。
光学纳米级测厚仪核心原理：
1.光波干涉机制：仪器将光束投射至薄膜表面，部分光在膜层上表面反射，另一部分穿透膜层后在下表面反射。两束光因光程差产生干涉，形成明暗相间的条纹14。通过分析干涉条纹的相位变化或光强分布，结合数学模型计算出膜厚。
2.系统构成：光源提供宽谱（白光或卤素灯）或单色激光；分光系统分离参考光与测量光；探测器捕捉干涉信号；软件通过傅里叶变换、极值法等算法解析厚度。
光学纳米级测厚仪维护保养规程：
1.光学组件护理：每月使用异丙醇浸润的镜头纸轻拭聚光镜和CCD窗口，严禁用手触碰分束器表面。每年返厂进行光路同轴度调整。
2.软件数据管理：定期清理历史数据库防止存储溢出，重要项目建立双重备份机制。版本升级需验证旧项目兼容性后再部署。
3.耗材更换周期：卤钨灯光源寿命约2000小时，出现光谱能量衰减至初始值80%时立即更换；防尘罩每两年更换一次硅胶密封条。
