三、产品特点
1、核心优势:
- 软硬件国产化:100%国产自研,100%自主可控
- 非接触测量:可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品
- 高精度高稳定性:亚纳米级厚度测量精度,静态稳定性可达0.02纳米
- 多层膜测量能力:可以测量多层复合薄膜各层的厚度
- 智能化算法:核心算法,一键式测量大跨度膜厚
2、功能特色:
- 样品自动测量,平台尺寸100mm~450mm可选
- 软件根据需求自动生成测量点位分布
- 2D和3D测绘效果,包含厚度/折射率/反射率等信息
- 可测量薄膜应力和表面弯曲(Stress/Bow)
- 测量速度:5个点-5秒(200mm晶圆),25个点-14秒