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替代KLA白光干涉膜厚仪产品详情

2025年11月05日 08:52:49      来源:明通甄选 >> 进入该公司展台      阅读量:25

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替代KLA白光干涉膜厚仪是苏州悉识科技有限公司生产的一款国产白光干涉膜厚测量仪,采用光学干涉原理实现纳米至微米级薄膜厚度的非接触测量。
一、技术参数:
1、NS-30UV核心参数
- 波长范围:190-1700 nm
- 测量范围:1 nm - 250 μm
- 测量精度:1 nm 或 0.2%
- 重复精度:0.02 nm
- 测量时间:小于1秒
- 稳定性:0.05 nm
- 光斑大小:0.5 mm
2、同系列型号规格

同系列型号规格


二、工作原理

NS-30采用垂直入射高稳定宽波段光的光学干涉原理,实现纳米至微米级透明或半透明膜层厚度、反射率及折射率的测量。垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面,在各膜层之间产生光学干涉现象,反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。






三、产品特点
1、核心优势:
- 软硬件国产化:100%国产自研,100%自主可控
- 非接触测量:可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品
- 高精度高稳定性:亚纳米级厚度测量精度,静态稳定性可达0.02纳米
- 多层膜测量能力:可以测量多层复合薄膜各层的厚度
- 智能化算法:核心算法,一键式测量大跨度膜厚
2、功能特色:
- 样品自动测量,平台尺寸100mm~450mm可选
- 软件根据需求自动生成测量点位分布
- 2D和3D测绘效果,包含厚度/折射率/反射率等信息
- 可测量薄膜应力和表面弯曲(Stress/Bow)
- 测量速度:5个点-5秒(200mm晶圆),25个点-14秒
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