影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等;以及生产设备上方气流的分流点。

　　一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

　　洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

　　洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：天花板系统;空调系统;隔墙板;地板;照明器具。

　　注：洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或，但无论是何种构造，必须满足以下条件：不会因温度变化与振动而发生裂痕;不易产生微尘粒子，且很难附着粒子;吸湿性小;为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。