探针清洁
清洁方法：使用干净的棉签蘸取适量异丙醇轻轻擦拭探针，去除灰尘和污染物。注意不要用力过大，以免损坏探针。
频率要求：每次使用前检查探针是否有明显损坏或变形，使用后及时清理样品残留物，避免污染。
样品台清洁
残留物清理：每次更换样品后，清理样品台上的残留物，避免污染。使用专用工具（如无尘布和乙醇）确保样品台表面洁净。
氮气吹扫：对于敏感样品或特殊化学环境中使用的探针，可用氮气吹扫样品台，去除残留物。
四、定期检查与校准
探针状态监控
成像质量分析：定期检查成像质量，若发现模糊、分辨率下降或出现伪影，可能是探针已磨损或损坏，需及时更换。
使用记录跟踪：为每根探针建立使用记录，跟踪其使用次数和时间，以便及时更换老化探针。
系统校准
激光定位器校准：每月调整激光光斑至探测器中心，确保四象限探测器信号平衡（偏差<5%）。
Z轴校准：使用标准高度样品（如硅片校准样块，厚度误差<±0.5nm），调整灵敏度至压电陶瓷响应线性区。
XY扫描器校准：检查压电陶瓷扫描范围，通过步进电机回位校准，消除累积误差。
