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单温区PE-CVD系统产品特点

2025年09月16日 15:15:14      来源:明通甄选 >> 进入该公司展台      阅读量:17

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单温区PE-CVD系统产品特点:
单温区PE-CVD系统采用高性能射频电源,等离子体更稳定;
 
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区;
 
可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较,生长温度更低。
 
 
技术参数
 
型号:TFE - 1200 - 50 - 220
 
设计温度:1150℃(短期)
 
额定温度:1100℃
 
推荐升温速率:≤10℃/min
 
控制精度:±1℃
 
炉管尺寸:Φ30/50/60*1200mm
 
炉膛尺寸:Φ80*220mm
 
加热区长度:220mm
 
恒温区长度:80mm
 
加热元件:优质国产电阻丝
 
额定功率:3KW
 
供气系统:
 
①三路高精度MFC
 
②量程0-500sccm(可定制)
 
射频电源:
 
①射频功率:5-500W;
 
②射频频率:13.56MHz;
 
③匹配方式:自动匹配
 
真空系统:双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等)
 
外形尺寸:1250*510*810mm
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