等离子清洗机采用质量流量计,气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
等离子清洗机特点
◆7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆PLC 控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆CIF等离子清洗机F系列用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计 (CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制精准。
◆气体返填吹扫,HEPA 高效过滤,防止二次污染。
◆316 不锈钢、石英真空舱可选择,全真空管路系统采用316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆采用 60 度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方 便,界面友好。
◆上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。
◆内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。
◆CIF等离子清洗机F系列处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。
◆样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
◆安全保护,舱门打开,自动关闭电源。