一、工作原理
热式原理
热式微型空气质量流量计基于热传导原理工作。它通常有一个加热元件和一个温度传感器。当气体流过时，加热元件会使周围气体温度升高。气体流速越快，带走的热量就越多，温度传感器检测到的温度变化就越大。通过测量这种温度变化，就可以计算出气体的质量流量。
压差式原理
压差式微型空气质量流量计是利用气体流动时产生的压力差来测量流量。它一般有节流元件，当气体通过节流元件时，会在节流元件的上下游产生压力差。根据伯努利方程和气体状态方程，通过测量这个压力差就可以计算出气体的质量流量。
这种原理的流量计在一些对成本较为敏感且对测量精度要求不是较高的微型设备中有应用，像一些小型的空气净化器内部的气流监测。
二、特点
体积小
这是特点。尺寸非常小，可以方便地集成到各种小型设备中，如便携式空气质量监测仪、小型燃料电池系统等。
精度较高
尽管体积小，但它能够提供较高的测量精度。这对于一些对空气质量流量监测要求严格的场合非常重要，比如在微电子制造车间，精确控制空气质量流量有助于保证芯片制造过程中的环境稳定性，提高芯片的质量和良品率。
响应速度快
能够快速响应气体流量的变化。在一些动态的空气质量监测场景中，如汽车尾气排放检测中的快速瞬态工况模拟，可以及时准确地捕捉到气体流量的变化情况，为检测提供可靠的数据。
