电子级用水标准GB11446-1-89
2025年04月03日 08:55:20
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电子级用水标准GB11446-1-89 |
化学指标单位: μg/L 等 级 项 目 | EW—Ⅰ | EW—Ⅱ | EW—Ⅲ | EW—Ⅳ | EW—Ⅴ | 电阻率MΩ.cm.(25℃) | 18(*小17) | 15(*小12) | 10(*小8) | ≥2 | ≥0.5 | 大于1μm微粒数 | 1 | 5 | 10 | 100 | 500 | 大于0.5μm微粒数 | 100 | 300 | 500 | 1000 | 2000 | **个数,*大值 个/mL | 1 | 5 | 10 | 50 | 100 | 总有机碳含量，*大值 | 50 | 100 | 200 | 1000 | 1000 | 二氧化硅总含量，*大值 | 2 | 20 | 50 | 100 | 1000 | 氯含量，*大值 | 0.5 | 2 | 10 | 100 | 500 | 铜含量，*大值 | 0.2 | 2 | 5 | 50 | 500 | 钾含量，*大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 1000 | 钠含量，*大值 0 | 0.5 | 6 | 10 | 200 | 500 | 锌含量，*大值 | 0.2 | 2 | 10 | 100 | 500 | 铝含量，*大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 | 铁含量，*大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 | 钙含量，*大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |
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