1、测量前，先用高纯度酒精和混合液或清洗被测表面与平晶工作面。再用纺绸或亚麻布轻揩，然后使平晶边缘与测量面接触，逐渐减少平晶倾斜，使整个面接触，调整平晶与被测表面之间的夹角；直到出现清晰的干涉条纹为止。若出现的干涉条纹较密且不能减少时，说明被测表面上有灰尘或杂物，应再次清洗。
2、被测表面应光洁、无划痕、碰伤和锈蚀。
3、切勿把平行平晶压在被测表面上硬推，以免拉毛平晶工作面。
4、在平行平晶使用中要求室内温度稳定。由于平晶的传热性能差，温度的不稳定会使平晶内部温度分布不均匀而引起变形，从而影响其平面度。对于越大的平晶其影响也越严重。如它的上下表面有温差时，会产生弯曲变形；中心与边缘有温差时，就会变凸或凹。一般当温度上升时，平面变凹；反之变凸。因此，在测量时平晶与被测表面应等温一段时间，直到干涉条纹形状不再变化或变化较少后方能进行测量，否则将由平晶与被测面之间的温差产生变形而影响测量的准确性。 为了减少温度对测量的影响，在高精度测量时，平晶应避免直接用手握持，而用专用夹具或垫以亚麻布等。同时要有若干块平晶交换使用，以减少手热的影响。
5、两平晶的工作面不能相互研合，否则将会损坏平晶工作面。
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