平行平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法,也称技术光波干涉法。在测量的时候,把平行平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如果入射光线垂直于被测表面，并且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则会出现彩色干涉条纹。如果干涉条纹平直，相互平行,并且分布均匀,则会表示被测表面的平面度很好；如果干涉条纹弯曲，则会表示平面度 不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)
λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。
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