经历过长达几十年迭代更新，才有如今的扫描电镜，下面就为您简单介绍电子显微镜的发展史。
电镜的发展历史要从1924年波粒二相性理论的提出开始介绍。
1924年法国物理学家德布罗意提出“物质波”假说，认为和光一样，一切物质都具有波粒二象性。 根据这一假说，电子也会具有干涉和衍射等波动现象，这被后来的电子衍射试验所证实。由此，物理学界也开始了拉开了利用电子成像的帷幕。
1926年：磁透镜聚焦理论的提出
德国学者H.Busch提出了运动电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称的磁场对电子束具有聚焦作用。这为电子显微镜的发明提供了重要的理论依据。
1931年：电子图像的获得
德国学者Knoll和Ruska获得了放大12倍铜网的电子图像。证明可用电子束和磁透镜进行成像。
早期的透射电镜 大约1934年左右
1931-1934年：透射电镜的诞生
1939年研制成功世界上商品透射电镜，分辨率优于100埃；1954年进一步研制成功ElmiskopI型透射电镜，分辨率优于10埃。
1939年：商品透射电镜的问世
德国学者鲁斯卡等研制成功世界上透射电子显微镜，至1934年其分辨率达到了500埃。鲁斯卡因为在电镜光学基础研究及以上贡献获得了1986年诺贝尔物理奖。
1935年：头次提出扫描电镜概念。
在透射电镜的基础上,1935年德国学者诺尔头次提出了sem扫描电镜的概念，1952年剑桥大学Oatley等制作了出扫描电镜。
1965年：商品扫描电镜诞生
1965年剑桥大学推出商品扫描电镜。目前其发展方向是场发射型高分辨扫描电镜和环境扫描电镜。
电子显微镜通常可分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜两类，是材料微观分析的重要工具之一，被广泛应用于材料、化工、医学、生物等各个领域。
