两级旋片真空泵

在Pascal系列中，抽气速度在5至21m3middot（h-1）之间的旋片式真空泵具有内置的交流或直流电动机。入口和出口法兰可以垂直或水平结合，也可以连接附件。除标准范围外，I系列还提供强制润滑和两种不同腐蚀性气体。 SD系列设计用于非腐蚀性气体。天然润滑（泵送速度为21m3middot，h-1）。在长期运行期间，泵的低温可将z *最终压力下的回流降低到z *低。就像其他泵的抽速为21m3middot（h-1）一样，无需拆开泵体就可以接近泵轴密封件，因此现场维护非常容易。 I系列I系列泵配有强制润滑。与SD系列相比，这提高了耐水蒸气性。强制润滑可使I系列达到极低的噪音水平和低振动。由于C1系列FPM密封件和镀铬轴以及外壳，叶片，套筒和观察镜使用的特殊材料，C1系列的强制润滑泵特别适合腐蚀性气体应用。该系列的两个z *大型型号还集成了机油滤清器和机油箱冲洗装置。 C1系列装有矿物油。 C2系列C2系列泵还配备了强制润滑。这些泵在使用防腐气体设备，带轴承润滑的泵，用于对工作流体进行脱气的中性气体冲洗设备以及特殊叶片材料方面优于C1系列。该系列的两个z *大型型号还配备了机油压力传感器和机油温度传感器的连接。借助这种防腐气体设备，PascalC2泵特别适合在半导体制造中使用蚀刻和涂层工艺。 C2系列配备了全氟化工作液。