超纯水在电子行业主要应用于半导体材料、器件，LCD液晶显示屏、PDP、等离子显示屏、半成品、成品等清洗。 一、典型工业纯水设备的工艺流程
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
二、工业纯水设备结构及作用
整个反渗透系统由高压泵、反渗透膜、压力容器、以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道及管件等组成。反渗透膜是一种由压力驱动的新型分离膜，在压力推动下，溶液中的水分子透过膜，而其它分子、离子、细菌、病毒等被截留，从而达到纯化水的目的。反渗透膜的孔径小于1nm，能有效去除二价离子，对一价离子的去除率可达95-99%;对低分子量有机物的去除率可达99%;能有效去除病原微生物、各种细菌和病毒。使出水Ames致突活性试验呈阴性。双级反渗透系统能够除去原水中99%以上的矿物质、细菌、病毒、热原及细菌内毒素等。反渗透装置相较阴阳离子交换床来说，设备操作简单、无酸碱再生污染、运行费用低等优点使反渗透装置现在正逐步代替因阳离子交换床。
由于电子行业的产品精准度是非常高的，所以当生产过程中对水质的需求标准直接影响电子产品的质量，工业纯水设备可根据水质需求进行配置，生产不同质量的水。