一、基本原理

日立扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号(如二次电子、背散射电子等)。这些信号被不同的信号探测器接收并转换成图像信息，从而实现对样品表面形貌和成分的观测与分析。

二、主要特点

高分辨率：日立扫描电镜的分辨率高，通常可达到纳米级别，能够清晰地观察到样品表面的细微结构和特征。

大景深：该仪器具有较大的景深，使得观测视野内的图像都保持清晰，便于对样品表面的三维形貌进行观测和分析。

高放大倍数：日立扫描电镜的放大倍数可调范围宽，通常从几十倍到数十万倍不等，可根据需要选择合适的放大倍数进行观测。

试样制备简单：相对于其他微观观测手段，日立扫描电镜的试样制备过程相对简单，只需对样品进行适当的处理即可进行观测。

三、型号与功能

日立扫描电镜拥有多个型号，每个型号都具备不同的特点和功能。例如：

SU3800/SU3900：这两款扫描电镜兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。其中，SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

FlexSEM 1000 II：这是一款紧凑型的扫描电镜，宽幅仅为45cm，但仍具备4.0nm的图像分辨率。其全新的用户界面和电子光学系统为用户提供了高性能的观测体验。

TM3030：该型号扫描电镜具有先进的电子光学系统和测试软件，可实现自动化聚焦、亮度/对比度调整以及图像抓拍等功能。同时，它还配备了X射线能谱仪装置，可进行显微组织性貌的观察和微区成分分析。

四、应用领域

日立扫描电镜因其优异的性能和广泛的应用领域而备受青睐。它已被广泛地应用于生物学、医学、冶金学、化学、材料科学等多个学科领域和工业部门中。例如，在生物学领域，它可用于观察细胞结构、细胞膜结构以及细胞骨架等;在医学领域，它可用于研究药物对细胞的作用及其动力学过程;在冶金学领域，它可用于分析金属材料的微观结构和成分等。

五、维护与保养

为了确保日立扫描电镜的正常运行和延长使用寿命，需要进行定期的维护和保养工作。这包括：

清洁镜头：定期清洁扫描电镜的镜头和样品室，以保持其清洁和干燥。

检查电源和电路：确保电源稳定并检查电路连接是否良好，避免电路故障导致设备损坏。

校准设备：定期对扫描电镜进行校准，以确保其测量结果的准确性和可靠性。

记录使用日志：详细记录设备的使用情况和维护历史，以便及时发现并解决问题。

综上所述，日立扫描电镜作为一种高性能的电子光学仪器，在多个领域都发挥着重要作用。在使用过程中，需要注意设备的维护和保养工作，以确保其正常运行和延长使用寿命。