低温扫描探针显微镜（SPM）是一种先进的分析仪器，主要用于物理学、材料科学领域的研究。
基本概述：低温扫描探针显微镜系统是一种用于物理学、材料科学领域的分析仪器。它可用于各种微纳材料的表面形貌表征、IV测量、高分辨原子成像等，扫描精度可达0.1纳米。
主要功能：该设备的主要功能包括超低温STM、非弹性隧穿光谱（IETS）、各种AFM功能（MFM、KFM、SCM等）、光激发STM、AFM测量、隧道电流诱导的超低温高分辨光发射、增强拉曼光谱、原位沉积以及原子、分子的吸附等。
技术特点：低温扫描探针显微镜具有接近±0.1mK的温度稳定性、约1pm振动水平、小于10pm/h的温度漂移，能够从低温到室温宽温区内连续变温成像。该设备还具有灵活的结构，可供选择如光学透镜、观察点沉积和附加探头等。
应用领域：在国家自然科学基金项目的支持下，中国科学院物理研究所郇庆研究员团队提出了一种全新的远端液化无液氦闭循环制冷方案，并成功研制了无液氦低温低振动扫描探针显微（SPM）系统。这一技术已经应用于凝聚态物理研究、材料科学、生物医学等领域，并有望推动相关领域的研究取得更大突破。
