RTP快速退火炉通过向炉膛内注入保护气体，降低炉内空气中氧气和水蒸气的含量，并利用红外辐射加热技术，将晶圆或其他材料快速地加热到高温，然后通过快速冷却的方式，使其达到非常高的温度梯度，从而消除材料内部的一些缺陷，优化材料的性能。
RTP快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。各部分的具体功能如下：
1、真空腔室：是快速退火炉的工作空间，晶圆在这里进行快速热处理。
2、加热室：以多个红外灯管为加热元件，以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。
3、进气系统：真空腔室尾部有进气孔，精确控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。
4、真空系统：在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀，可以有效确保腔室真空度，同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。
5、温度控制系统：由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。
6、气冷系统：通过进气系统向腔室内充入惰性气体，来加速冷却被热处理的工件，满足工艺使用要求。
7、水冷系统：主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。
RTP快速退火炉以其高效性、精准控温性、温度均匀性、灵活性和安全性等特点，在多个领域具有广泛的应用前景。为确保其正常运行和延长使用寿命，需要定期进行维护和保养。
