全自动扫描电镜是一种高精度的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物学、医学和工业检测等领域。为了确保其正常运行和延长使用寿命，必须进行定期的维护和保养。
-外壳清洁：定期使用软布擦拭SEM的外壳，避免灰尘积累。对于顽固污渍，可使用少量的酒精轻轻擦拭。
-内部清洁：使用专用工具定期清理试样台和透镜等部件，确保没有灰尘和其他污染物影响成像质量。
-电子枪检查：使用前应检查电子枪是否正常工作，确保没有松动或损坏的迹象。
-电磁透镜检查：定期检查电磁透镜的状态，确保其聚焦功能正常，无污染或损伤。
-扫描线圈检查：检查扫描线圈是否稳固，以及信号线连接是否良好，防止因接触不良导致成像问题。
-温湿度监控：保持实验室内的温度和湿度在适宜范围内，过高或过低的温湿度都可能影响SEM的性能和稳定性。
-无尘室设置：尽可能在无尘室内使用SEM，以减少空气中悬浮颗粒对仪器的影响。
-真空泵检查：定期检查真空泵的工作状态，确保其抽真空能力符合要求，避免因真空度不足影响SEM的分辨率。
-密封性能检查：检查SEM的密封件是否完好，防止漏气现象发生，确保真空系统的稳定运行。
-电源线路检查：定期检查电源线路和插座，确保没有磨损或老化现象，防止因电气故障引发事故。
