TLRH系列谱量光电精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要,而特定设计的一款高精密高稳定探针台,其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制,已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。
技术优势
.模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;
.最大可用于12寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3um,样品台精密四维调节;
.兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试;
.满足1um以上电极/PAD使用;
.漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
.探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
.加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;
.配显微镜二维精密调节功能,且可选配多种行程及驱动方式。