X荧光光谱仪，又称为X射线荧光光谱仪（X-ray Fluorescence Spectrometer，简称XRF光谱仪），是一种对X荧光进行检测的探测器，它主要由激发源（X射线管）和探测系统构成。
1、分析速度快：测定用时短，一般10~300秒就可以测完样品中的全部待测元素。
2、非破坏性分析：在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象，同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
3、测量范围宽：可分析元素范围广，大多数分析元素均可用其进行分析，分析范围为Be到U。并且可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品。
4、干扰小：X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，基本上也跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态无关。
5、分析精密度高：含量测定已经达到ppm级别。
6、制样简单：固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
