低温压电扫描台是一种高精度、高稳定性的精密定位设备，是一种利用压电材料的逆压电效应，在低温环境下进行精密定位与扫描的设备。它能够在低温、真空及磁场等条件下提供纳米级的高精度定位和运动控制，广泛应用于半导体加工、检测、高精密测试和操作以及其他真空无磁要求的纳米运动控制等领域。
本公司提供的低温压电扫描台Scanner16-xy的参数：
1、紧凑的设计，外形尺寸：16 * 16 * 7 mm
2、超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK
3、无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场
4、高负载：100 g
5、行程@300 K：30*30 um
6、空间扫描达到 0.8 nm 分辨率
低温压电扫描台在半导体加工、检测、高精密测试和操作等领域有着广泛的应用。例如，在半导体加工中，它可以实现纳米级的精确切割和定位；在半导体检测中，它可以提供高精度的扫描和测量；在高精密测试和操作中，它可以实现微小尺度的精密操控。
