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三氟化氮检测仪的设计特点与功能

2024年05月28日 17:19:22      来源:未来仪器 >> 进入该公司展台      阅读量:4

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   三氟化氮检测仪是一种用于监测三氟化氮(NF3)气体浓度的仪器,主要应用于半导体芯片、平板显示器、光纤和光伏电池等行业。在这些行业中,三氟化氮通常作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂使用。检测仪能够实时监测空气中的三氟化氮浓度及泄漏状况,确保工作环境的安全。
  三氟化氮检测仪设计特点:
  1.工业级标准:检测仪是按照工业级设计标准研发生产的,这意味着它具备高可靠性和稳定性,适合在各种工业环境中使用。
  2.防爆设计:该检测仪具有防爆特性,获得了国家防爆电气产品质量监督检测中心颁发的防爆合格证,确保在潜在爆炸性环境中的安全使用。
  3.智能模块化传感器:采用智能模块化传感器设计,即插即用,自动识别。这种设计允许通过更换不同的传感器来检测多种气体,提高了仪器的灵活性和经济性。
  4.内置进口传感器:配备高精度的进口传感器,确保了检测结果的准确性和可靠性。
  三氟化氮检测仪功能:
  1.在线监测:能够实时监测三氟化氮(NF3)气体的浓度,及时发现潜在的危险或泄漏情况。
  2.报警功能:当检测到三氟化氮气体超过预设的安全阈值时,仪器会发出报警,提醒操作人员采取相应的安全措施。
  3.多用途:适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等行业,在这些行业三氟化氮通常作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂使用。
  
 
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