冷镜式露点仪，利用热电制冷器冷却露点传感器的镜面或声表面波器件，使气体中的水蒸气在露点传感器的镜面上冷凝为露或霜，光电系统自动控制平衡，使镜面上的露或霜与气体中的水蒸气呈相平衡状态，用铂电阻温度计准确测量镜面上露层或霜层的温度，从而获得气体的露点温度。
冷镜式露点仪用途：该露点仪具有精度高、量程广等优点，适用于退火炉、干燥器、电力工业、洁净间、仪表风、环境测试箱、校准实验室、烟气测试、稳定性试验及过程工业控制。
如何正确使用冷镜式露点仪以及在实际测量中应注意的问题：
1. 镜面的污染对露点测量的影响：在露点测量中，镜面污染是个突出的问题，特别是工业流程气体分析污染的影响是比较严重的，但即使是在纯气体的测量中镜面的污染亦会随时间的增加而积累。为了消除污染的影响，zui直观的方法是对被测气体进行过滤。同时根据具体情况定期或随时清洗镜面。此外，通过对镜面的加热，并通气吹除污染杂物，在污染比较明显的情况下也可以多次重复进行节露和消露过程来实现。
2. 低霜点测量中的问题：冷镜式露点仪是微量水测量中为数不多的zui有效的手段之。但是在测量中有些问题必须给予充分的注意。首先是影响检测的霜层厚度问题。在低含水量的情况下，霜层很薄，变化也慢，增加了检霜的困难，如露点低于-65℃，镜面上水分子移动性很小，结晶速度相应下降，从霜层的出现到相对稳定需要定时间。霜点温度越低，困难越大，测量误差也迅速增加。
