影响等离子清洗作用的要素有许多，其中最首要的是电源功率频率、作业压强、作业气体种类以及清洗的时刻。等离子清洗的作用会跟着功率的增大而变好；作业压强的挑选要根据清洗的基片进行合理选用，当以物理作用为主时应减小压力以增大离子能量。

　　当以化学作用为主时要增大一些压力，保证反响气体浓度，清洗时刻也要保证清洗作用的一起减小能耗。电极的设计对等离子清洗作用有着显着的影响，首要包括电极的材料、布局和尺度等要素。对于内电极等离子清洗体系。


　　因为电极暴露在等离子体中，某些材料的电极会被一些等离子体刻蚀或产生溅射现象，形成不必要的污染并导致电极尺度的变动，进而影响等离子清洗体系的稳定性。电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有较大影响。


　　较小的电极距离可以将等离子体约束在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体，实现较快速度的清洗。跟着距离的添加清洗速度逐步下降但均匀性逐步增强，电极的尺度一般决定了等离子体系的全体容量，在电极平行分布的等离子清洗体系中，电极一般作为托盘运用，较大尺度的电极可以一次清洗更多的元器件，进步设备的运转效率。