影响三坐标测量机精度的因素，除了三坐标测量机本身因测量精度误差而产生的误差外，还有许多因素可能影响三坐标机测量的精度，导致三坐标测量机误差。CMM操作员应了解这些因素，以避免影响零件测量的准确性。
1.CMM机房温度稳定
温度是影响三坐标测量机精度的因素。三坐标测量机每年进行一次精度校正，不能保证温度变化时三坐标测量机的精度。特别是当季节变化时，机房的温度与校准时的温度有所不同。机房要保持温度稳定。
在这种情况下，采用温度修正系数来修正三维光栅温度与量块温度之差引起的误差。这种修改可以基于季节或环境温度条件。
2.CMM补偿文件正确性
三坐标测量机补偿文件是利用双频激光干涉仪检测测量机的位置、直线度和角度误差而生成的补偿文件。测量软件根据它来补偿误差。一些操作人员在安装三坐标测量机软件时经常忘记安装补偿文件或丢失备份文件。
协调测量机精度差，重新检查机器精度。因此，操作员应注意备份文件，并知道如何安装补偿文件。
3.三坐标测量机测头校准的正确性和准确性
三坐标测量机探头校正的目的是对测量杆（测量头）红宝石球直径进行校正，对测量点探头进行校正，得到不同探头位置的位置关系。探头校正产生的所有误差都将添加到测量中。所以在这个环节上要保证正确和准确。注意以下事项：
（1）保持三坐标标准球和测量杆清洁。
（2）确保三坐标测量座、测量头、测量杆、标准球固定牢固。
（3）输入正确的测量杆长度和标准球直径。
（4）根据形状误差和修正后的宝石球直径及重复性判断修正精度（修正后的宝石球直径随加长杆长度的不同而不同）。
（5）当使用不同的探头位置时，应在所有探头位置校正后，通过测量标准球中心点的坐标来检查校准精度。
在不移动探头和测量杆的前提下，可以调出探头验证后保存的探头文件供使用。但是，在测量精度较高的情况下，建议重新校准探头。
4.CMM工作状态
三坐标测量机在使用后较长时间内，特别是在环境较差、温度波动较大、机械部分会发生变化，如：垂直度变化、具有长腿端的梁式测量机长度测量精度差等。此时对测量机进行大修和精度检查。
5.三坐标被测零件的形状误差及基准的正确选择
因为测量机的原理是先取点，然后用软件取点进行拟合和计算误差。因此，该测量机对零件的形状误差有一定的要求。当被测部位有明显的毛刺或沙眼时，测量重复性明显变差，操作者无法给出准确的测量结果。在这种情况下，一方面需要控制被测零件的形状误差；另一方面，可以适当增大测量杆的宝石球直径，但测量误差明显较大。
采用正确的三坐标机测量方法，选择正确的测量基准是最重要的步骤之一。如：圆和直线选择投影面或工作面，建立部分坐标系选择正确的、二基准，同轴度计算如何选择基准轴等。这就需要掌握测量机的测量原理，并根据实际情况采取正确的方法步骤。
