《电子工业洁净厂房设计规范》主要起草人之一李锦生告诉《中国电子报》记者，电阻率是衡量超纯水纯度的重要指标。超纯水的电阻率越高，其纯度也就越高。一般来讲，在25℃时，理论纯水的电阻率是18.24MΩ·cm。据了解，当集成电路特征尺寸为0.18微米时，对超纯水的电阻率要求已经达到18.2MΩ·cm。而TFT-LCD对超纯水要求略低，但也要求电阻率在18MΩ·cm以上。洁净室系统控制对象范围广--洁净室，净化工程，洁净工程

　　《电子工业洁净厂房设计规范》的条文说明显示，电子工业用高纯气体种类很多，高纯常用气体和特种气体达数十种。根据电子产品生产工艺要求和气源的品质，洁净厂房内常常设有不同类型的气体纯化装置，如电子产品生产工艺要求气体中杂质含量达到10-9时，即使管道供应或外购气瓶的气体纯度达99.99%或99.999%，也需要采用金属吸气剂法、低温吸附法或钯膜扩散法等气体纯化方法对气体进行提纯。

　　洁净室系统所控制的对象不仅是室内的空气洁净度，还包括在生产过程中与产品密切接触的水、气体和其他化学品。

　　在集成电路和TFT-LCD的生产过程中，硅片和玻璃基板的清洗需要大量的超纯水。《电子工业洁净厂房设计规范》主要起草人之一李锦生告诉《中国电子报》记者，电阻率是衡量超纯水纯度的重要指标。超纯水的电阻率越高，其纯度也就越高。一般来讲，在25℃时，理论纯水的电阻率是18.24MΩ·cm。据了解，当集成电路特征尺寸为0.18微米时，对超纯水的电阻率要求已经达到18.2MΩ·cm。而TFT-LCD对超纯水要求略低，但也要求电阻率在18MΩ·cm以上。

据李锦生介绍，在超大规模集成电路生产过程中，清洗设备用水点的排水几乎全部可以回收，经回收处理后的水一部分可以作为冷却塔和废气洗涤塔的补水，另一部分可以与超纯水制备预处理系统的出水一起进入预处理水池，作为超纯水制备的补充水。目前，集成电路洁净厂房的超纯水回收率可以达到70%。