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新国标〈电子工业洁净厂房设计规范》满足设计新要求

2023年05月27日 09:29:16      来源:广州启绿空气净化设备有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:14

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  新国标〈电子工业洁净厂房设计规范》满足设计新要求--洁净厂房,工业洁净厂房,厂房设计规范; 《电子工业洁净厂房设计规范》主编、中国电子工程设计院前副总工程师陈霖新在接受《中国电子报》记者采访时表示,45纳米的极大规模集成电路的生产要求洁净室的空气洁净度为ISO1级或ISO2级,微粒粒径为30纳米。

  随着工艺技术的提升,集成电路对生产环境洁净度的要求也越来越高。特征尺寸为45纳米的极大规模集成电路已于两年前投入商用。根据摩尔定律,32纳米产品将在今年投入商用。日前,英特尔还向业界展示了22纳米产品。《电子工业洁净厂房设计规范》主编、中国电子工程设计院前副总工程师陈霖新在接受《中国电子报》记者采访时表示,45纳米的极大规模集成电路的生产要求洁净室的空气洁净度为ISO1级或ISO2级,微粒粒径为30纳米。

超高效过滤器系列,超高效过滤器系列,是采用国际的制造技术,经过多年研发,专为达到洁净室内所需气流和微粒控制要求而设计的高质量、高效率系列过滤器产品. 可有效降低洁净室运行成本,出厂前均通过有效的检漏和扫描测试,可以满足特殊工业的严格要求,适用于各种洁净室、洁净台、制药厂、生物厂、食品加工及其他任何需要严格控制空气污染的场所。


结构说明:
1、 无缝密封技术,密封效果更好,更持久。
2、 体积小、重量轻。采用阳极处理铝合金外框材质,方便搬运及安装
3、 可提供50mm,70mm,90mm等其他多种厚度。
4、 逐台镭射扫描计数捕集0.12um微粒MPPS率可达:99.999995%(EN1822)。
安装说明:
1、 可配合多种品牌FFU安装于天花龙骨上或彩钢板吊顶上
2、 超高效过滤器需要在风管安装完毕,对室内进行试吹,并在风量及室内洁净度达到一定要求后再安装,以延长高效过滤器使用寿命
3、 为保证高效过滤器的使用寿命,建议空气进入前,需经过不低于F8(比色法90%-95%)的预过滤

  集成电路和TFT-LCD洁净厂房的体积也不断增大。陈霖新表示,以微电子产品生产为代表的大面积、大空间、大体积的洁净厂房相继建成,并日渐增多。一个8英寸集成电路芯片生产用的洁净厂房,其洁净生产区面积可达数千平方米到1万平方米,厂房高度20米左右;第6代TFT-LCD生产用洁净厂房的洁净生产区面积达3万多平方米,厂房高度接近30米,其中仅洁净室(区)及其贯通的上下技术夹层的高度就可达15米~18米,而且TFT-LCD8代线,洁净厂房面积已接近9万平方米。
  针对这些变化,在今年7月1日正式实施的《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)在涉及化学分子污染物的控制,以及洁净建筑防火与疏散等方面做出了新的规定。

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