工艺

应用

泵的标准

使用的真空泵

低 / 中真空

高真空

泵类型

抽速 m3/h

真空度
hPa

泵类型

抽速 l/s

真空度
hPa

冶金

退火, 钎焊, 烧结, 铸造, 硬化, 氮化

重粉尘,蜡,NH3（氮化）,助焊剂

旋片泵或干式泵或罗茨泵组合

500 至 8000

1 至 10-3

涡轮分子泵

700 至 3,000

10-3 至 10-8

电子束焊接

金属粉尘,湿度,电子枪上的 X 射线

旋片泵或干式泵或罗茨泵组合

500 至 8000

10-2至 10-4

涡轮分子泵

300 至 1000

高达 10-7

冷冻干燥

实验室,制药,食品

H2O,溶剂

两级旋片泵

2 至 20
1000 至 2000

< 10-2

制药

H2O

两级罗茨泵或干式泵组合

1000 至 2000

< 10-3

食品

H2O,酸,鞣剂

多级罗茨泵或旋片泵或干式泵组合

500 至 4000

< 10-2

变压器干燥

线圈干燥,充油过程中的抽气

H2O,丹宁酸,蜡,聚合物

多级罗茨泵或旋片泵或干式泵组合

1000 至 12000

< 10-2

油脱气

H2O

两级旋片泵,多级罗茨泵或旋片泵组合

150 至 250
500 至 2000

< 10-2

泄漏检测

汽车零部件,包装,桶,真空系统

批量变化时室壁上的 H2O,潮湿的塑料

两级旋片泵,多级罗茨泵或旋片泵组合

5 至 65 或
1000 至 2000
氦气检漏仪

< 10-2至< 10-3

涡轮分子泵

70 至 700

<10-6

医疗加速器

在光束线和离子/电子同步加速器中产生超高真空

伽玛射线和中子射线很好的 H2 抽速

隔膜泵, 单级旋片泵, 离子吸气泵

2 至 4
< 100

2 至 3
< 1

涡轮分子泵

70 至 700

<10-6至10-8

等离子体处理

灭菌

通过 H2O2, 臭氧的强氧化

两级旋片泵

5 至 20

< 10-2

清洁

臭氧,氨

干式泵

25 至 40

< 10-1

真空灌装

汽车零部件, 如制动器, 空调, 伺服机构, 制冷压缩机

侵蚀性制动液,致冷剂 (Atex)

特殊版本的单级和两极旋片泵

10 至 65

< 10-2

电池生产

干燥, 填充, 泄漏检测

腐蚀性电解质,盐

单级旋片泵, 两极旋片泵, 干式泵, 氦气检漏仪

200 至 600
10 至 250
25至 600

0,1 至 10-2

特殊气体

气缸排空, 特征化 / 纯净, 填充

腐蚀, 污染预防

旋片泵, 罗茨泵, 干式泵, 质谱仪, 氦气检漏仪

20 至 65
250 至 1000
15 至 40
1-300 amu

10-2 至 10-3

真空镀膜

玻璃

粉尘, 碎玻璃

单级旋片泵或罗茨泵组合

600 至 2000

< 10-3

涡轮分子泵

2000

10-3 至 10-4

预载室

机械应力

单级旋片泵，干式泵

500 至 600

>5

光学镀膜,

粉尘

单级旋片泵或罗茨泵组合

650 至 2000

< 5X10-2

涡轮分子泵

1500 至 2000

10-3 至 10-5

预载室

机械应力

单级旋片泵或罗茨泵组合

500 至 600

< 5 X 10-2

磨损保护,

粉尘

两级旋片泵或罗茨泵组合

600 至 1000

< 1至 5

涡轮分子泵

1500 至 2000

10-3至 10-6

预载室

机械应力

单级旋片泵或罗茨泵组合

500 至 600

< 5 X 10-2

太阳能

PVD

粉尘

干式泵或罗茨泵组合

600 至 2000

10-3 至 10-5

涡轮分子泵

1200 至 2000

10-3 至 10-5

CVD

粉尘, 升华

干式泵或罗茨泵组合

600 至 4000

< 200