2023年02月22日 17:31:14 来源:上海京灿精密机械有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:12
客户类型: 半导体工厂用高纯度特殊气体柜的制造商
行业: 半导体
应用: 监测高纯度特种气体柜中的压力
解决方案: Druck的UNIK 1000可配置模块化德鲁克压力传感器
德鲁克的客户位于中国,是一家的高科技创新公司,专门从事高纯度特种气体柜的开发和制造。
高纯度专用气体柜广泛用于半导体生产线,可为高纯度保护气体提供精确的压力和流量控制。所需的压力控制精度需要大于0.25%FS,并且气压范围可以从14.696psiG至〜1000psiG的低水平变化到1000psiG至〜3000psiG的高水平。
根据气体控制路径的设计,安装在高纯度特殊气体柜中的传感器数量可以从5到10不等。由于半导体加工技术的特殊性,传感器需要满足纯度高于99.999%的系统的高纯度规格,并且具有集成设计的防腐蚀和防泄漏功能。
为了提高安装系统的密封效果,Druck的客户要求传感器脱脂,无油并配备特殊的VCR压力连接器,该连接器在半导体行业中通常使用。
Druck团队与客户建立了紧密的合作关系,并推出了UNIK 1000压力传感器。经过广泛的鉴定和验收测试,客户对UNIK 1000压力传感器的高精度,长期稳定性和低成本感到非常满意。
Druck开发了特殊的VCR压力接头,根据行业规范,该接头可承受高达6,000 psi的压力。还为传感器的制造过程开发了清洁制度,以确保满足客户的无油要求。
Druck的UNIK 1000压力变送器是成功的UNIK 5000可配置模块化压力传感器的衍生产品。在这种情况下,定制的VCR压力连接器使客户能够准确方便地监控位于高纯度特殊气体柜中的气体管道中的压力。
此外,考虑到在传感器的制造过程中已进行了脱脂和无油处理,可以根据客户对高纯度条件的要求使用Druck的UNIK 1000压力传感器。
本地化生产,较短的产品交付周期,出色的定制能力以及强大的国内技术支持帮助客户降低了运营成本,从而促进了业务增长。