真空镀膜设备维修中应注意那些问题呢?让东莞爱加真空高级工程师与你分享.

1. 正确安装本设备，真空室、电控柜必须安全接地。
2. 为保证镀膜质量，要注意真空室的卫生，必须严格按技术要求执行。对室体内的零部件应用汽油、丙酮、酒精等清洗干净，擦干或烘干后方可装入。
3. 开机前检查各真空泵的机械转动部位是否正常，如旋片泵、罗茨泵过渡传动中的密封等，必须经常检查油量和油脂，以保证其正常工作。
4. 启动压缩机，保证空气压力在0.4Mpa才以上，经常排放压缩机储气罐中的积水。
5. 工作完毕后，镀膜室应擦净，无污物，保持低真空，避免污染真空系统，影响真空性能。
6. 经常检查高压微动开关，应安全可靠，如导通不良或损坏，须立即更换。
7. 工作中如遇突然停电，应立即切断真空测量，关闭各手动阀门，将扩散泵加热炉提出，切不可断冷却水。
8.每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肉不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）使镀上去的铝膜（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
9.当粗抽泵（2X-15A维持泵，2X-2A旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
10.扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴开，先用汽油将泵腔及泵芯清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水*清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察真空度是否达到6×100帕，否则要进行检漏。检查联接处是否漏装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

以上真空镀膜设备维修及注意事项由东莞爱加真空提供.

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